【成果推介】智能光学测量与检测系统产业化项目
综合服务部 浙大湖州研究院 2025年12月29日 点击率：86 次
产品介绍：
本项目基于结构光超分辨率显微技术、相位三维测量技术等前沿光学成像技术，结合人工智能技术，研发出一系列智能测量与检测系统解决方案与装备。项目聚焦半导体制造、精密光学制造以及生物医学成像与分析等领域，致力于研发高效、低成本的智能质量控制、检测与工艺分析设备，可满足复杂工业环境中的实时检测需求以及实验室中的精密测量要求。
核心优势：
1、技术自主领先：采用自研的结构光超分辨技术与波前传感技术，系统精度可达到亚微米级，支持二维与三维高分辨率检测；
2、检测高效快速：采用少光子探测方案，有效减少曝光时间，结合并行计算加速成像与检测算法，确保系统实现实时成像与检测；
3、智能自动化：融合人工智能技术，实现自动化的配方生成、缺陷分类与智能分析，显著提升产线质量控制效率；
4、应用成熟可靠：产品已在半导体制造、显示面板制造等自动化生产线中成功应用，并经过长时间的实际验证。
适用场景：
1、半导体行业：广泛应用于芯片制造、光刻、封装等关键工艺过程中的精密测量与检测；
2、生物医学领域：可用于微观生物样本的高精度成像与测量，为生命科学研究提供支持；
3、光学与激光领域：用于光学系统的精确调试与激光检测，涵盖晶圆级光学元件制造、超透镜表面质量分析以及人工晶体等产品的质量控制。
